光清洗设备

光源是低压汞灯，波长集中在185nm,254nm，被照射物体是玻璃基板或硅片，起到表面杀菌和清洗**物作用。
灯管形状现有U型，一字型，面型，发光管形状和长度可可根据客户需求进行订制。
发光管长度较大可达2500mm。