Excimer紫外线光是惰性气体和卤化合物气体的灯中发出高能量的光。
稀有气体(氙气)或卤化物稀有气体被封装在灯内,外部数次给高能量电子,进而产生放电离子。
此离子包含高能量电子,同时有瞬间消失特征。通过离子放电,激起放电气体的原子,瞬间变成准分子Xe状态。
(被能量高的轨道原子激起,变成准分子激起分子)。此准分子状态回到原本状态(底层状态)时,发光准分子特有光谱。此光被称作准分子VUV光。
波长:126/146/172/193/222/308nm
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